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技术文章
尼康干涉物镜50X参数介绍
点击次数:110 更新时间:2025-09-10

尼康干涉物镜50X参数介绍

尼康干涉物镜50X参数介绍

尼康干涉物镜有2.5x/5x/10x/20x/50x/100x

50X干涉物镜使用说明:

主要用于非接触光学压型测量设备,通过分析样品表面反射光的干涉图案,获取表面位图及测量参数,测量精度可达波长级别。以下是具体使用说明:

测量原理

光束通过分光镜分成两路:一路直接照射样品表面,另一路反射至内置反光镜。两路光在样品表面反射后重新结合,形成干涉图案。与Mirau镜头相比,Michelson镜头具有更长工作距离、更宽视场和更大焦深,适合大范围测量;Mirau镜头则适用于高倍率或需大数值孔径的场景


干涉物镜


2.5x

5x

10x

20x

50x

100x

工作距离(mm)

10.3

9.3

7.4

4.7

3.4

2.0

NA(数值孔径)

0.055

0.15

0.30

0.45

0.55

0.7

FOV(mm)1

5093×3818

2546×1909

1270×950

637×477

254×190

127×95

空间采样(mm)2

6.64

3.32

1.62

0.83

0.33

0.17

光学分辨率 蓝光(L&S)(mm)3

2.55

0.93

0.46

0.31

0.25

0.20

光学分辨率 白光(L&S)(mm)3

3.04

1.11

0.56

0.37

0.30

0.24

大坡度4

3.05o

8.6o

14o

21o

25o

42o

垂直分辨率(nm)PSI7垂直分辨率(nm)ePSI7

<0.1nm(PZT 0.01nm)

垂直分辨率(nm)VSI7

1nm5mm

垂直范围PSI(mm)

5mm

垂直范围ePSI(mm)

100mm

垂直范围VSI(mm)

10mm

扫描速率(mm/s)

PSI:3-15mm/s VSI/ePSI:4-18mm/s

一般测量时间(s)9

PSI:3s VSI:10s ePSI:30s



 

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